スパッタリング装置
スパッタリング装置
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【生産性向上・省力化】ロードロック式 通過型スパッタ装置 S...
二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタ装置
金属を成膜させたい対象物にゴミなどの不純物が混入したら嫌ですよね!？本装置のスパッタ室は常に真空のため安定した成膜が可能です。また、スパッタには不活性ガス(Ar)を...
【低温成膜可能】ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置 ...
二種類の膜を片面ずつ成膜可能なスパッタ装置
カルーセルとは「回転木馬」という意味があり本装置は回転木馬のように基板が回転しながらターゲットの前を通って成膜する装置になります。ターゲットの前を通過する時以...
【両面成膜が可能なロードロック式スパッタ装置】 SPH-2500-Ⅱ型
二種類の膜を両面に成膜可能
仕込室にトレーをセットすれば後は全自動で成膜！！トレーを複数搭載可能なので大気開放する必要もなく金属膜、または酸化膜(オプション)を一気に成膜します。トレー内・...
【小ロット・ハイサイクル生産に】カルーセル型高速スパッタ...
主に自動車内装部品・自動車ヘッドランプリフレクターに、装飾膜のコーティングを行...
コンセプトは小ロット・ハイサイクルで稼働できる装置。製品の品質や歩留まりを上げたい、そんな生産現場で使う装置の正解を目指しました。装置の構成や能力など、資...
[樹脂基板に早く自動でスパッタしたいお客様へ] SPP-SERIES
本装置は樹脂基板に金属膜及び保護膜を成膜するための装置です。
射出成型機と本装置を連動させて成形→金属膜(Al)→保護膜(SiOx)を簡単に全自動成膜！！サイクルタイム80秒(Al:100nm+SiOx:20nm)とハイレートであること、下地いらずであるこ...
ドライプロセスによる粉体表面改質 回転式真空プラス...
粉体の新しい可能性を生みだす
◆ガス導入により様々な処理が可能(親水化・撥水化) ◆スパッタリング・製膜にも対応可能 ※対応仕様のみ◆生産対応の大型化も可能 ◆主な用途 電池の負極材向け...
ロール・ツー・ロール 成膜技術
フレキシブルエレクトロニクス＆光学用多層膜向け
・新しいロール・ツー・ロール成膜プロセス様々な用途の多様なニーズを満たす、新しいロール・ツー・ロール成膜プロセスは、フレキシプルエレクトロニクスや先進的な光学産...
簡易型DCスパッタ装置 VSE-150DR 製品案内
ロータリーポンプを主排気系とし、ターゲット材及びサンプルをセットするだけで、容易にスパッタリングを行えます。真空チャンバーにはガラスを採用しており、チャンバー内の状態を容易に観察することができます。本装置は、DCスパッタリング、DCエッチング及びACエッ...
スパッタリングコーティングサービス
スパッタリングコーティングサービス カタログのご案内です。
当社では、貴社の研究・開発を目的とした複雑多岐にわたる実験を強力にサポートする、最新鋭のスパッタリング装置を完備しています。特殊な材質を成膜したい時、ターゲット...
