ゲートバルブ
ゲートバルブ
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【真空バルブのリーディングカンパニー VAT】UHVケ...
研究開発および産業のUHVアプリケー ションの標準バルブ
【特徴】・潤滑剤が不要・Vulcanizedゲートシール付き DN63−200・メンテナンスが簡単◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve
微細化する半導体プロセスに対応
・低振動 OPEN/CLOSE動作時の低振動化を実現・低パーティクル 新機構により低発塵化を実現◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧ください。
ゲートバルブ Twin Rollcam Gate Valve
真空内無摺動構造
・真空内無摺動構造 真空内グリス不使用 パーティクルフリー・任意の開口寸法・取合い寸法 半導体200m・300mmサイズより大きくしたい、小さくしたいにお応えします。...
ゲートバルブ Gate valve T-Motion
大型化するFPD基板(G11)に対応します!
・低振動 独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を実現 従来機種比40%低減・低パーティクル 弁体のガイド機構は全て大気側に配置縦搬送、...
