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基板レベル、 ウエハレベル PKGに対応
◆基板やウエハの表面をプラズマにより洗浄・改質し、金属接合性、樹脂密着性を改善◆真空チャンバーの大型化により同時処理可能な基板枚数が増え、生産性が向上◆独自のプラズ...
コストダウンに最適
◆アルゴンプラズマ処理によりニッケル化合物を除去し、極薄の金メッキに安定したワイヤーボンディングを行なうことが可能です。◆酸素ラジカルを用いた表面改質により、モール...
高出力の低圧水銀ランプを使用、O2供給なく、高密度の照度を実現したコンパクトなUV...
エレクトロニクス製品の高精細化に適合した、UVエネルギーによる精密でクリーンな乾式洗浄法です。オゾン分解ユニット付き(オプション)もご選択可能で、実験室など排気設...
英国ダイアグノシス社製 CRS8000(Coating Removal System) ディコーター
・コーティング除去に必要な機能と装備を完備・絶縁保護塗膜を安全に、クリーンに除去・化学物質を使用しない、環境にやさしい除去方法・各種塗膜に対応(ウレタン、パリレ...