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MEMS試作からMEMS量産まで一貫したファウンドリサービスが提供可能
・MEMS製品全般に対して開発・量産実績あり・独自の各種貫通Via技術・ゾルゲル法によるPZT膜生産技術を確立・短納期のセミカスタム圧力センササービス◆詳細はカタログ...
少量からのMEMS試作・マイクロチップに対応します。
・基板手配 シリコン、ガラス、樹脂など多様な材料に対応・成膜 スパッタ、蒸着、CVD、メッキなど、常時120種類以上の材料を保有し、スピーディな対応が可能・イオン注入...