MEMS試作からMEMS量産まで一貫したファウンドリサービスが提供可能
・MEMS製品全般に対して開発・量産実績あり ・独自の各種貫通Via技術 ・ゾルゲル法によるPZT膜生産技術を確立 ・短納期のセミカスタム圧力センササービス ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
少量からのMEMS試作・マイクロチップに対応します。
・基板手配 シリコン、ガラス、樹脂など多様な材料に対応 ・成膜 スパッタ、蒸着、CVD、メッキなど、常時120種類以上の材料を保有し、スピーディな対応が可能 ・イオン注入 イオン注入可能な材料は、60種類以上 ◆詳細はカタログをダウンロードして...
ファウンドリ ~モールドから、転写まで~
半導体製造技術を用いたナノインプリント用微細モールド(金型)ナノインプリント転写サービス、その他各種ソリューションを提供します。 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。