株式会社昭和真空のカタログ一覧

【緻密どころじゃない膜に、基板が覆われる】　原子層堆積装置　...

低温成膜で樹脂基板にも対応 ガスバリア性に優れた薄膜が得られます

ALDによって生み出される膜、 それは広く普及している成膜技術によって、 生み出される膜とは性質が異なる。 ①基板内面内分布に優れている ②高性能なバリア特性(水蒸気透過率0.05g/m2・day)を持つ ③複雑な形状の物にまできれいに密着 ...

【低温成膜可能】ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置　S...

二種類の膜を片面ずつ成膜可能なスパッタ装置

カルーセルとは「回転木馬」という意味があり 本装置は回転木馬のように基板が回転しながらターゲットの前を通って 成膜する装置になります。 ターゲットの前を通過する時以外は基板がプラズマにさらされないため、 低温成膜ができると言ったメリットがございま...

【精密加工に貢献】ウエハトリミング装置　SST-M01T型

ウェハ上の膜に生じる凹凸を(極限まで)削減します

そこで、当社が紹介するのはウェハトリミング装置「SST-M01T」。 Φ4 インチとφ6 インチに対応しており、ナノオーダーでフラットにする事が可能！！ 対応膜種はLT,LN,SiO2 等多数。 変化するウェハ市場に対しても柔軟に対応可能な実験機も...

【驚愕の再現性！】光学薄膜用蒸着装置 SGC-S1700シリ...

再現性を保ちながらもっと量産したい！そんな方に・・・大量生産かつ驚愕の再現性を施した...

1バッチの搭載数はΦ1300と比較すると約2倍！ 省スペース化もしておりますので、 非常にコストパフォーマンスの良い装置となっております。 スマートフォン向け反射防止膜の成膜で世界シェアNo1の装置です。 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご...

【装飾、塗装に最適】 イオンプレーティング装置 SIP-16...

装飾膜などに適した大型イオンプレーティング装置

樹脂基板への金属膜を成膜する装置です。 装飾、塗装のドライ化をご検討されているならこの装置。 真空槽のラインナップがいくつかございますので、 生産量にマッチした装置を提供させていただきます。 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

真空蒸着装置　Mega-Sapio 1700

生産量UPを追及して1台で2台分の生産を実現

従来のSapio 1700から排気工程の短縮、成膜工程の短縮、ベント工程の短縮、装置の安定稼働、これら4つを実現しました。制御系にはワイヤレスモニターを採用し高精度なプロセスコントロールを行えます。設置面積は従来のSapio 1700と変わらず生産量2倍...

耐プラズマ膜用蒸着装置　SEC-S1300i

耐腐食性の高いY₂O₃厚膜を成膜、シールド膜の形成が可能

本装置は耐プラズマ膜（Y₂O₃膜）の厚膜成膜が可能です。 充填密度の高い緻密で強固かつ耐腐食性の高いY₂O₃膜を形成することで、 高密度フッ素系ガスプラズマからアルミナや石英などの部品を保護します。 【用途】 ・半導体向けドライエッチャー ...

予兆保全用エッジコンピューティングシステム　EPIoT

設備の監視、解析によりエラーを予測し安定稼働へ繋げます

【概　　要】 EPIoT（エピオット）は、装置へ接続する事で様々な観点から装置の状態監視及び解 析を行い、装置の安定稼働を促進するユニットです。 標準仕様で「監視」、「解析」、「警報」、「履歴管理」の4つの機能を持っておりますが、 管理する項目は...

インライン式高真空アニール装置　SAF-X1201

インラインで水晶振動子の熱処理が可能な高真空アニール装置

【特　　長】 1．本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定 化のために熱処理を行うインライン式真空熱処理装置です。 2．仕込室、処理室、冷却室の3室からなり、トレイ仕込後、アニールから冷却まで全自動で行 いま...

ホール加速型イオンソース/プラズマブリッジニュートラライザー...

大容量・コンパクト・起動時間短縮・ランニングコスト削減

ホール加速型イオンソース/プラズマブリッジニュートラライザーは、 大容量・コンパクト・起動時間短縮・ランニングコスト削減を実現いたしました。 ◆詳細はぜひともカタログをダウンロードしてご覧下さい。

【生産性向上・省力化】ロードロック式 通過型スパッタ装置 S...

二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタ装置

金属を成膜させたい対象物に ゴミなどの不純物が混入したら嫌ですよね!？ 本装置のスパッタ室は常に真空のため安定した成膜が可能です。 また、スパッタには不活性ガス(Ar)を使用するので 金属ターゲットと気体分子が反応せず純度の高い膜を成膜できます。...

【昭和真空の最高傑作】 ロードロック式周波数調整装置 SFE...

水晶デバイスの周波数調整工程用エッチング装置

SFE-B03-Ⅱ、これを抜きに昭和真空は語れない。 ビーム幅100mmにより高速でエッチング、最大で32個の素子を同時に処理できる。 タクトタイム0.4s/pcs 以下を実現した。 さらに、画像認識システムやロータリーソレノイド機構等の採用により...

【両面成膜が可能なロードロック式スパッタ装置】　SPH-25...

二種類の膜を両面に成膜可能

仕込室にトレーをセットすれば後は全自動で成膜！！ トレーを複数搭載可能なので大気開放する必要もなく金属膜、または 酸化膜(オプション)を一気に成膜します。 トレー内・トレー間分布が±1.5%以下、高使用効率カソード搭載、 ラック&ピニオン方式採用...

【自動化のマスト設備】 インライン式周波数調整装置 SFE-...

水晶デバイスの周波数調整工程用エッチング装置

近頃は製造工程において、品質向上・生産量UPのために、 いかに人の手を加えないかが各メーカーの重大事項となっている。 そのトレンドに合わせてバッチ式のSFE-B03-Ⅱをインライン式にしたのがこのSFE-X2012-Ⅱ。 移載機等と組み合わせてライ...

【表面硬化膜の成膜に】アーク放電型 イオンプレーティング装置...

TiN、TiAN硬化膜の成膜が可能。

蟹のようなチャーミングな見た目とは裏腹に、 硬化膜成膜というお硬い仕事をこなすのが、 このSIA-400Tです。 アーク放電を起こして高融点金属を溶解、 蒸発、イオン化させ薄膜を形成。 切削工具や自動車・機械部品の表面を 硬化させたい、そんな...

【垂直入射はお手の物】真空蒸着装置 SEC-22C

電極膜や酸化膜の成膜に。リフトオフ工程にも対応可。

蒸着材料の入射角が大きいと、 どのような問題が起きるのでしょうか？ 密度が小さくて剝がれやすい膜ができる。 所々隙間のある膜ができる。 といったことが考えられます。 SEC-22Cには、蒸着材料の入射角を 抑える工夫を施しました。 T/...

【省スペースで設置場所に困らない】真空蒸着装置 SEC-06...

金属薄膜の研究開発用途から小ロット生産に最適

本装置は抵抗加熱蒸発源を使用して金属材料を 成膜する為の真空蒸着装置です。 シンプルなバッチ式装置ですが、ご要望に応じて 公転ドーム・自公転治具が搭載可能です。 また全自動で成膜してくれる便利な装置となります。 当社の他装置と比べると設置ス...

【小ロット・ハイサイクル生産に】カルーセル型高速スパッタ重合...

主に自動車内装部品・自動車ヘッドランプリフレクターに、装飾膜のコーティングを行なうた...

コンセプトは小ロット・ハイサイクルで稼働できる装置。 製品の品質や歩留まりを上げたい、 そんな生産現場で使う装置の正解を目指しました。 装置の構成や能力など、 資料の中で詳しく説明しております。 ぜひダウンロードしていただき、ご覧ください。

スパッタリングとは

スパッタリングって何？

「スパッタリング」と聞いたときに 真空技術を応用した成膜方法と分かる人は少ないかもしれません。 実は、この技術を使用することで 「ナノレベル」の薄い膜「薄膜」を作ることができます。 また、スパッタした膜の種類によっては、 「耐食」や「装飾」など...

【基板表面処理なら】プラズマクリーナー SPE-2136A

基板表面のクリーニング、アッシング処理に！

φ4、φ6インチ基板への残渣除去、表面改質、アッシング 処理をするための装置です。 コンパクトな設計でウェハー2枚同時処理が可能です。 さらに自動搬送機構の搭載で基板の割れ防止、作業時間の削減を実現します！ ◆詳細はカタログをダウンロード...

【安定した膜厚制御なら】水晶式モニター COÅT LEADE...

水晶振動子の長寿命化を可能に！安定した膜厚制御を実現

高精度な膜厚監視、成膜レートの制御をするためのコンポーネントです。 単層・多層成膜の分光特性のばらつきを抑え、 更に設定膜厚との誤差低減を可能にしたことにより、 再現性をより向上させます！ 等価抵抗値を計測する事により即座に水晶振動子のエラー時期...

【高出力・広範囲イオンソース】 ISGシリーズ

膜の密着性改善・基板表面のクリーニングに最適

弊社が開発したイオンソースのISGシリーズは 膜のイオンアシストから基板の表面改質まで幅広くご使用頂けます。 ニュートラライザーを当社独自で改良し確実な着火と長時間の 安定放電を可能としており、 また、ISGシリーズは広いビーム照射範囲を持ち、 ...

【複雑かつ3D形状に対応】光学薄膜形成装置 Genesis-...

蒸着、スパッタでは困難な高曲率レンズ、ボールレンズへの成膜に最適

ALD装置の新たなラインナップに光学に特化した装置 Genesis-ARが登場 複雑かつ3D形状に対応でき、低温(100℃以下)で均一にコーティングすることができます。 また、他にも 　①従来の成膜技術では難しかったボールレンズ、高曲率レンズにも対...

ワイヤレス温度モニター

実基板と同じ設置条件下での温度測定が可能

温度モニターしたい基板に子機を設置し、 その子機からリアルタイムに温度が端末に送信されることで お手元のタブレット・PC等で確認することができます。 ①基板温度に敏感なレジスト付き基板や樹脂基板の温度管理に最適 　②リアルタイムで測定可能なため急...

【Al膜からDBR膜に移行するなら】Sapio-DBR

LED 光学多層DBR 膜形成用真空蒸着装置

Al膜を使ってLEDの発光効率を高める方法には、限界があります。 さらに、Al膜は、LEDに悪さをすることがあります。 熱変形による応力で、製品劣化の原因になることも。 そこで、DBR(誘電体多層膜ミラー)膜の出番。 熱変形による劣化が少なくて済...

【安定した膜厚と低パーティクル】 光学薄膜用蒸着装置　Sap...

ガラス基板、樹脂基板などへ反射防止膜、BPF、LPF、コールドミラー、UV/IRカッ...

20バッチ連続で成膜を実施しても乱れない再現性。 真空槽が汚れていても、 特性に限らず安定した膜質を得る事ができます。 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

[樹脂基板に早く自動でスパッタしたいお客様へ]　SPP-SE...

本装置は樹脂基板に金属膜及び保護膜を成膜するための装置です。

射出成型機と本装置を連動させて成形→金属膜(Al)→保護膜(SiOx)を 簡単に全自動成膜！！サイクルタイム80秒(Al:100nm+SiOx:20nm)と ハイレートであること、下地いらずであることも魅力です。 現在、大型のバッチ式スパッタ重合装...

【独立稼働処理室で効率よく加熱処理】 高真空アニール装置 S...

水晶デバイスの熱処理(アニール)工程用の装置

水晶デバイスの加工時に生じたひずみの除去・電極膜の安定化等、部品の最後の仕上げに必要な加熱処理を行うための装置。 加熱棚を5段備えた加熱処理室を2室搭載。 また、それぞれの処理室は独立稼働させることができるため、生産の効率化とサイクルタイムの短縮が図...

真空の基礎

真空って、宇宙かも？

宇宙って空気が薄いだけの空間じゃない。 地球上ではやりづらいことが、 宇宙では簡単にできてしまうのです。 ただし、宇宙にはそう簡単には行けませんよね。 そこで、頼りになるのが真空。 地上より圧力が低い空間という点で、 実は、真空も宇宙も同じ。...

[装飾膜と硬化膜をお考えの方へオススメの装置]　SIH-40...

ホロカソード式イオンプレーティング装置

～工具に硬化膜付けたいけど今の装置では全然付かない～ このようなお悩みをお持ちの方に当社のSIH-400Tはいかがでしょうか。 ホロカソード蒸発源を使用することにより硬化膜を容易に成膜可能です。 さらに導入ガスによって色を変える事も可能で、アクセサ...