東京電子株式会社のカタログ一覧

Transpector(Ｒ)_CPM

AG-NEG ポンプ｜Atomaized Granule N...

アトマイズ法で製作したNEG粉を用いる世界初のポンプ

Magic NEG ポンプ｜MNEG70 / MNEG114

ピルNEGを使った、極高真空発生向けNEGポンプ！

コールドカソードゲージコントローラCG-20

ピラニゲージコントローラ_PG20-30

WATMASS-MPH

高精度質量ガス分析計

E-13Pa台の極高真空領域のガス分析が可能

デバイスの質量ガス受託分析

デバイスの品質管理でお困りではないですか？

高精度質量ガス分析装置　WATMASSーMPH GA Sys...

極微小リークを見逃さない！　高精度質量ガス分析の実現

従来のSUSに代わる真空構造材0.2%BeCuを使用することにより低ガス放出化で 究極な微小リークを検出可能。

ステンレスに代わる新しい真空構造材0.2%BeCu

真空の常識を変える全く新しい真空構造材

従来の真空構造材ステンレスに対する0.2%ベリリウム銅合金。熱伝導性が良くガス放出を極限まで抑制します。 半導体製造に必要なクリーンな環境、高精度分析の実現が可能となります。