東京電子株式会社のカタログ一覧
東京電子株式会社のカタログ一覧
VACUUM2024真空展 出展者セミナー 『真空の常識を覆...
従来の真空構造材にSUS変わる0.2%BeCu、その熱伝導特性を活かしてアウトガスを...
アウトガスが問題になって良い真空環境を造れず、思うようなものづくり、実験ができなかったことはありませんか？ 良い真空、極高真空、超高真空を造るにはアウトガスが大敵です。0.2%BeCu(ベリリウム銅合金)は熱特性がよく、従来のSUSに比べてアウトガスを...
真空の常識を変える全く新しい真空構造材 0.2%BeCu
アウトガス、温度コントロールの問題をこれで解決
低ガス放出で今までの常識を覆す全く新しい真空構造材0.2%BeCu。ウルトラクリーンを創造し製造工程、分析工程に革新をもたらします。アウトガスでお納屋並みの方、必見です。
質量ガス分析法で行うデバイスの品質管理
質量分析計を使ったデバイスの品質分析、ガス分析についてわかりやすく解説
近年、半導体製造プロセスにおいて「3D構造化」や「チップレット」といった技術進化に伴い工程、材料の開発・評価が加速しています。そのような状況から品質保証の点で質量分析による残留ガスのリーク検査のニーズは非常に高まっています。例えばウェハのガラス基板中の気...
核融合発電を造る加速電源
脱炭素社会のサスティナブルエナジーを実現する核融合。核融合の仕組みとそのキーデバイス...
核融合は次世代エネルギー発電です。 ウランもプルトニウムも全く使わない。燃料は海水からとる水素です。（重水素と三重水素）これを核融合炉の中でプラズマを起こして核融合反応を起こします。1億度以上の高熱を発するエネルギーを発し、それにより発電をします。核分...
質量分析計導入ガイド
質量分析計を使ったデバイスの品質分析、ガス分析についてわかりやすく解説
質量分析とは？あるいは質量分析計を使った真空プロセス質量分析、極微小リーク分析、大気圧サンプリング分析などの分析手法をわかりやすく解説 極微小リーク分析としてはデバイスの質量ガス分析について解説。 近年、半導体製造プロセスにおいて「3D構造化」や「チ...
東京電子 会社案内
極高真空技術で 1000兆分の1を計る パルスパワー技術で 1000年先の次世代社会...
真空機器事業 Vacuum Instruments 東京電子の真空技術は、究極の真空を造り、計ります。当社は究極の真空構造材、0.2% BeCu テクノロジーを基に、10⁻¹⁰Paという極高真空を造り出すことができます。この究極なテクノロジーにより、次...
極高真空測定子 3BG
3B Gauge（Bent Belt-Beam）は、熱陰極型電離真空計に存在する「軟X線」「電子衝撃脱離（ESD）」「ガス放出」の3つの測定限界を総合的に改善し、10-11Pa台までの圧力計測が可能な新しいタイプの測定子です。
コンパクト B-A真空計 ミニチュアイオンゲージ IG-10
センサー・回路・ディスプレイ一体型 コンパクト B-A真空計
・広い測定範囲 ・優れた耐久性 ・簡単なセットアップ ・ガス感度補正付き ・ディスプレイの視認性 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
広帯域計測がこの一台で！ クリスタル／コールドカソード コン...
測定原理の異なる真空計を組み合わせることで広範囲の圧力領域測定を可能にしました
・広い測定範囲 ・真空計設置スペースを節減 ・クリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現 ・耐久性の高い新しい構造のCCGを採用 ・イージーメンテナンス ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
ITERジャイロトロンを運転するための高電圧電源システム
ITERジャイロトロン用加速電源
・直流高電圧電源部と高電圧スイッチ部の2つの装置により構成 ・ジャイロトロンへ高速・高電圧のパルス電圧入力 ・運転周波数は直流から5kHzまでのパルス運転が可能 ・最大電圧55kVの高電圧スイッチユニットを3台内蔵 （アノード電極充電用、アノー...
