3年に1度のメンテナンスサイクルを実現!(大気・N2吸引時推奨期間)
○スクロールポンプのようなチップシール交換・性能劣化・摩耗粉無し! ○ロータリーポンプのような油煙の発生・真空チャンバーの汚染無し! ○軽量かつコンパクトでスクロール・ロータリーポンプの置き換えが簡単! ○水蒸気及び溶剤等の凝縮性ガスが排気可能! ...