高精度ステージ・高精度アクチュエーター カタログのご案内です。
・高精度ステージ 殆どの部品を社内加工・組み立てにより、繰り返し位置決め精度0.2μm。 駆動は、内蔵したドライバーによる高精度DCモーター、セミクローズドループ制御。 指令はタブレット端末或はPCから行います。 ・高精度アクチュエーター ...