株式会社セルバックのカタログ一覧

プラズマCVD装置　PEGASUS PLAT FORM

◆PEGASUS　PLAT FORM 300 mm Process の自動化に適合したシステムを構築し 、 省スペース 、優れた生産性とシステム信頼性でウエハ当たりの生産コストの削減に貢献します 。 最大4 つのロードポート 300 mm FOUP ...