新開発クライオフィンガー搭載
新方式により高精度な超伝導計測器用に対応 新開発のクライオフィンガー搭載、極低温クライオスタットを製品化しました ■優れた除振能力 ■優れた熱伝導性 ■優れた断熱特性 除振と熱伝導を両立する構造を達成 新機能クライオスタットにより多方面に対応...
ロータリーポンプを主排気系とし、ターゲット材及びサンプルをセットするだけで、容易にスパッタリングを行えます。真空チャンバーにはガラスを採用しており、チャンバー内の状態を容易に観察することができます。本装置は、DCスパッタリング、DCエッチング及びACエッ...