ガルバノスキャナーとXYステージの同期制御システム
SCANLAB社(ドイツ)と、ACS Motion Control社にて共同開発した “XL SCAN”は、2DガルバノスキャンヘッドとXY位置決めステージを同期制御させることで、大面積を高精度に高スループットで動かすことができます。 アプリケー...
EtherCATによる産業用・高性能モーションコントローラ・ドライバーなどをご紹介
ACS社は1985年に創業しイスラエルに本社があり、主要国に子会社を置き、世界中に代理店やパートナーのグローバルネットワークを持っています。 2017年より、ACS社は、超精密位置決めに特化した”PhysikInstrumente社”(PI社)の一員に...
PI社のピエゾはすべて自社生産。他社と違い長寿命をうたうPICMA®セラミック使用。...
・精密位置決め市場を牽引するドイツPI社のピエゾステージ。 ・ナノポジショニングステージとスキャナでは、ナノメートルの精度の分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測の基準としての用途や微細プロセス、干渉計、...
メカニカルベアリングによる可動部のブレなどは、エアーベアリングを使うことで解決します...
摩擦がなく高精度の位置決め 非常に優れた速度安定性 最大5 µrad/100 mmの非常に優れたガイド精度 ガントリー向けのアクティブヨーイング制御 直接駆動リニアモーターおよびトルクモーターによりスムーズな高速スキャンに対応 ACS Mot...
グラナイト(石)加工専門メーカ
2021年にPIグループになった、ピー・ヂー・ダブリュー株式会社(PGW)社は、25年に渡り、グラナイト(石)の精密加工・組立を専門に長年提供しています。またグラナイトを用いた位置決め機器システムの開発設計・製造も行っています。FPD、半導体など向けを得...
ハイパフォーマンス、コンパクトXYナノポジショニングシステム
・スキャン用途や高精度な位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・最大300 mm × 300 mmの移動範囲 ・最大積載量 147 N ・ロープロファイル ・分解能:1 nm
顕微鏡対物レンズ用高精度ポジショナー&スキャナー
・最大動作量 100µm、400µm、800μmの3タイプ ・モータードライブよりも大幅に速い応答性と長寿命 ・サブナノメートルの分解能での対物レンズの微細な位置決め ・静電容量式センサーによる直接位置測定: 最高の直線性
ピエゾベースの対物フォーカスドライブシリーズ
ライフサイエンス、材料顕微鏡、品質保証、半導体製造など、様々な用途において、対物レンズの垂直方向の位置決めシステムは、ますます重要な役割を果たしています。ピエゾを用いたレバー増幅型の垂直軸は、約20年前からこの課題に対する標準的なソリューションとして証明...
ピエゾ、各種モータを駆動源とした製品の紹介。各駆動品の特長や比較一覧にしております
・スペースが限られているアプリケーションでは、小さなステージやアクチュエータが不可欠です。特に、 PI 社 のコンパクト精密位置決め製品は、最先端の研究開発、超高真空アプリケーションや非磁性環境、微小部品のマイクロアセンブリ、産業用アプリケーションでの小...
ピーアイ・ジャパン株式会社とピー・ヂー・ダブリュー株式会社の統合紹介
【目次】 ・はじめに 〜高精度位置決めシステムソリューションを強化 ・ピーアイ・ジャパン株式会社の紹介 ・ピー・ヂー・ダブリュー株式会社の紹介 【PIとP-G-Wの相乗効果】 精密位置決めの中でも、特に半導体やFPD製造装置、実装機、検...
PI社のステージとACS社製のコントローラの優れたコンビネーションをご紹介!
当カタログは、モーションコントローラとドライバの大手メーカーACS社製の製品を多数掲載した製品カタログです。 パワフルでユニバーサルなモーションコントローラ「SPiiPlusEC」をはじめ、XYZユニバーサルドライバとコントローラがひとつになった「...
さらに高い位置決めには、”H-840.G2IHP型”ヘキサポッドステージを!
▪ 最大20ナノメートルステップ ▪ 最大40 kgの耐荷重 ▪ トラベルレンジ:±50 mm / ±30° ▪ 再現性:±0.1 μm ▪ BLDC モータ
精密位置決め装置メーカーが考案したからこそのオプション機能多数。詳細はダウンロードし...
ドイツPI社が提案するマイクロマシニングシステム。ミクロンレベルのワークピースを加工するための高精度・高剛性・堅牢性の高いシステムのご紹介。 すぐれたオプション機能を一部ご紹介。 ・設置するだけで自動的にデータが一致するリファレンスエッジ ・あ...
要求の厳しい産業用アプリケーション向けリニアステージ
幅:114mm、トラベルレンジ:最大610mm 精密ボールネジ、最大荷重 50kg ステッピングモータまたはサーボモータ駆動 ドライブトレインを折り畳んだコンパクトモデル 縦置き用に保持ブレーキ付きモデル
1枚の薄型プラットフォームで3軸動作可能な高精度エアベアリングステージ
パラレルキネマティック方式の多軸システムとして設計されており、Zおよびチップ/チルト動作で使用できます。 小型で超高精度を実現したほか、非接触部品の組合わせにより、摩擦のないモーションプラットフォームによって優れた性能・品質・寿命を提供します。 ...
薄型で、駆動面積と耐荷重で4種類のサイズがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エア...
優れた精度と薄型デザインを両立させた、ダイレクトドライブ式のエアベアリング平坦回転ステージ。 さまざまなオプションを組み合わせることで、ポイントツーポイントのインデキシングや等速スキャンに最適なソリューションを提供します。 エア浮上ガイドのた...
顕微鏡対物レンズ向けハイダイナミクスポジショナー
V-308 対物レンズフォーカス用ボイスコイルPIFOC ・ 調整可能なトラレベルレンジ 7 mm ・ ハイダイナミクスダイレクトドライブ ・ 1kgまでの重量補正機能を内蔵、 ・ ユーザーによる調整も可能 ・ 最小インクリメンタル・モーショ...
PI社の多くの対物レンズ駆動製品を紹介します。顕微鏡での用途例も含め簡易比較をしてお...
私たちのPIFOC©対物レンズピエゾ位置決めステージは、顕微鏡を用いた生体観察、スキャニング解析、フォーカシング、干渉計測など、生産ライン、計測装置、研究機関など多く利用されています。通常フォーカスには、手動で合わせる場合やモーターを利用した自動制御があ...
ピエゾを用いた高速、高精度ミラー駆動製品のご紹介。各製品の特長や、動作原理、動作例な...
私達、ピーアイジャパン株式会社、本社ドイツ PI (Physik Instrumente )社は、機械設計開発、内 部ピエゾアクチュエータの製造開発、エレクトロニクスの製造開発、ソフトウエアなど、精密位置決めに必要な 製品をほぼ、独自開発・自主生産...
超音波モータ、慣性ドライブ、PiezoWalkドライブの3種をご紹介。高精度で、静止...
設置スペースが限られている場合、位置決め作業には小型ステージが不可欠です。ピエゾモータはダイレクトドライブを採用しているため、筐体内部に入れることができる為、コンパクトになります。 X軸、XY軸、回転軸などあり、組み合わせも可能です。 電源オフ時、セ...
サブミクロン位置決め、数ミリ~1mのトラベルレンジ。X軸、XY軸、Z軸、回転軸など組...
モータ駆動ステージの製品ラインナップを拡充! ・トラベルレンジは数ミリメートルからメートル単位、精度クラスはサブミクロン。 ・モータ、ガイド、センサーなど一体型で動作性能保証 ・複数軸の組み合わせも可能 ・デブリの混入防止に、サイドシールストリッ...
高ダイナミック、超高安定性を誇るピエゾナノポジショナー 分解能0.05nm、高速応答
P-753 LISA(リニアステージアクチュエータ)高速ナノポジショナーはリニアアクチュエータ、およびステージの両方としてご使用頂けます。 【特徴】 ・汎用性の高い設計:フレクシャステージまたはアクチュエータ ・分解能0.05nm、高速応答 ...
3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム
PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング/ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。 【特徴】 ・パラレル制御/計測構造による応答性の向上/多軸の精密制御 ・動作軸:X...
最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシリーズ。0.0...
Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ・垂直ストローク:50~400μm ・高精度、低コスト ・0.1nmの分解能 ・静電...
ストロークが50~1800μmと長いコンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ
単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50~1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ・ストローク50~1800μm ・高精度、低コスト ・0.1nmの分解能 ・静電容量センサーを内蔵 ・0.02%の位置決め...
透過光アプリケーションに適した50×50mm・高精度XYステージ
P-733 XYおよびXYZピエゾ駆動ステージは、 高速かつ高精度のナノポジショニング/スキャニングシステムです。 【特徴】 ・ストローク:XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に~10μm ・静電容量センサーにより分解能~0.1nmを...
高 い平面度と真直度が要求される位置決めに最適!Z軸ピエゾステージ
P-733.Zピエゾ垂直ステージは、100μmのポジショニングおよびスキャニングレンジをサブナノメーターの分解能で提供します。 50 ×50mmのクリアアパーチャは、走査または共焦点顕微鏡法のような用途に理想的です。 これらはセットリング時間...