難しい表面検査は、凹凸計測で一気に解決!
レーザービームによる光切断方式にて素材表面の凹凸を0.3μmの高さ分解能で計測します。 色合いや反射率の違いでは判定ができなかった欠陥を確実に捉えます。
300mm幅において10μmの欠陥が検出可能な、高速・広視野な欠陥検査装置です。
《用途》 金属やセラミック、高機能フィルムのキズ・クラックなどの欠陥を広範囲で検出します。