日本高周波株式会社のカタログ一覧

半導体製造装置のプラズマ発生源、熱処理装置の加熱源などに使用される半導体式のマイクロ...

【特長】・マグネトロン電源に比べ、発振周波数、発振波形、出力電力の安定性に優れています。・発振周波数を可変できるため、装置に合わせた細かな制御が可能です。・小型、軽量化を実現しました。アンプユニットはマグネトロン発振器と同等サイズです。・...

マイクロ波ダイヤモンド成膜装置 MDD-2016 カタログのご案内です。

弊社独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態での基板上のプラズマ分布を制御できます。