プラズマ解析 K-0DPLASMA カタログのご案内です。
・半導体及びディスプレイ産業への応用におけるプラズマ発生装置の解析 ・最適の工程変数の算出及び実験での測定が難しい物理量の予測 ・バルクプラズマと表面の相互作用を解析(シース解析)
半導体ドライエッチング工程解析用3次元形状シミュレータ K-SPEED カタログのご...