様々な基板温度で一度に成膜できれば、工数大幅削減!!
掲載内容 ◆ALDプロセス開発の時間短縮に 成膜基礎データ収集に多点基板温度成膜装置をご活用ください。 •多点基板温度成膜装置で成膜すると、1回の成膜で10点(例)の基板温度サンプルが作製可能。 •成膜実験ごとの条件不安定が無...