シャトルを自動的に搬送、製造処理をコントロールします。
システム構成 ◆自動搬送システムソフトウェアby ミニマルファブ総合プラットフォーム FOS ◆ミニマルファブ統合プラットフォームFOS FOS-AP-22/A 一式 ◆自動搬送システムソフトウェア ATS-AP-22/A 一式 ◆装置間搬送ユニ...