半導体製造工程で発生する有毒ガスから 周辺機器と作業者を保護
230種類以上(ホルムアルデヒド、オゾン、二酸化硫黄、硫化水素、アンモニア、TVOCなど)の刺激性・臭気性・腐食性の有毒で有害なガス状汚染物質の除去に高い効果を発揮 ◆クリーンルームAMC制御・乾式排ガススクラバー 高効率 対象AMCの正確な制...