通常の超精密ステージでは不可能な高速位置決めを可能にします!
高速工具サーボとは? ・Fast Tool Servo(FTS) ・(独)産業技術総合研究所にて開発 ・超精密加工機に搭載して工具刃先を精密かつ高速に制御する装置しています。 ピエゾ素子による変位を内蔵された静電容量型変位計からのフィードバックに...
刃先切り込み深さを、サブミクロンで制御可能。
高速工具サーボFTSは、超精密加工機のバイトホルダーに装着し、工具刃先の超精密・高速位置決めを行うことにより、従来の加工機では不可能であった形状の加工を可能とする装置です。 (独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ファインファクトリー研...