ナノメートルの変位を非接触超高分解能で計測
◆測定環境 渦電流センサの磁場は、絶縁材料を「光学的に見る」わけではないため、ほとんどの汚染物質の影響を受けません。これにより、渦電流センサは液体中や、機械の冷却液やその他の液体材料が検出領域に存在している場合でも、正常に機能することができます。 ◆...
ナノメートルの変位を非接触超高分解能で計測
◆導電性の測定対象 測定対象が金属材であれば、材質や成分の影響を受けず、無校正で測定できます。静電容量型変位センサの校正は、プローブと測定対象間の距離に一定の変化を与えて、同じ出力が反復して生じるようにします。この技術は、10μm...