そのまま真空容器へ SIGMA TECH
・アウトガス対策:線材や潤滑剤にアウトガスが発生しにくい素材を使用し真空容器内で使用可能なステージとなっております。 ・高分解能・再現性:リニアエンコーダをテーブル中央に搭載し、位置の読取誤差を減らす設計となっており、読み取った位置情報をもとにフィード...
細かくきざむ SIGMA TECH
・細かくきざむ:リニアエンコーダをテーブル中央に搭載し、位置の読取誤差を減らす設計となっており、細かく位置を読み取り、フィードバック制御を行っているため高い分解能と高い再現性で位置を決めることができます。 ・ロングストローク:ストローク20mm~400...