株式会社ブイテックスのカタログ一覧

ゲートバルブ　True L-Motion Gate Valv...

微細化する半導体プロセスに対応

・低振動 　OPEN/CLOSE動作時の低振動化を実現 ・低パーティクル 　新機構により低発塵化を実現 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧ください。

ゲートバルブ　Twin Rollcam Gate Valve

真空内無摺動構造

・真空内無摺動構造 　真空内グリス不使用 　パーティクルフリー ・任意の開口寸法・取合い寸法 　半導体200m・300mmサイズより大きくしたい、小さくしたいにお応えします。 ・選べる耐圧仕様 　ドア・正圧・逆圧それぞれに最適な駆動部を提供い...

ゲートバルブ　Gate valve T-Motion

大型化するFPD基板(G11)に対応します!

・低振動 　独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を実現 　従来機種比40%低減 ・低パーティクル 　弁体のガイド機構は全て大気側に配置縦搬送、横搬送共に無摺動を実現 ・低価格 　バルブサイズを超えた部品の共通化により...